鋰電池國家檢測，氣體傳感器檢測機構

傳感器的發(fā)展歷程主要有三種，傳感器在代類(lèi)屬于結構型，主要針對目標為信號，并對信號進(jìn)行處理工作；第二代則是固體傳感器，這類(lèi)固體傳感器與一代有著(zhù)較大的差距，能夠更好地處理相關(guān)的信息數據；而第三代是智能傳感器，能夠靈活判斷周邊情況，通過(guò)更加科學(xué)合理的方式處理各類(lèi)信息數據。53

在20世紀70年代，伴隨著(zhù)微電子技術(shù)、信號檢測與處理技術(shù)、計算機和網(wǎng)絡(luò )通信等科學(xué)技術(shù)的快速進(jìn)步，傳感器系統得到了廣泛的發(fā)展。這一時(shí)期涌現出了許多重要的傳感器技術(shù)和應用。54

其中，20世紀70年代是以下傳感器發(fā)展的重要里程碑：

1. MEMS壓力傳感器：在這一時(shí)期，針對基于電容敏感原理的MEMS壓力傳感器進(jìn)行了廣泛的研究和開(kāi)發(fā)。55