日本UNION公司THS-10測量顯微鏡 電池防爆片測量. 是一款基于光學(xué)焦距檢測方法.結合兩個(gè)顯微光學(xué)系統（表面和底面），采用精密對焦指示器的非接觸式厚度測量系統。當觀(guān)察到準確的位置和圖象時(shí)，既可測量厚度，測量厚度10毫米, 可選:25毫米。本機采用光學(xué)系統，操作簡(jiǎn)單?？汕宄@示準確的對焦位。（THS-10顯微鏡 THS-10厚度測量顯微鏡 THS-10雙面非測量顯微鏡）

案例:易拉罐沖壓后的厚度測量(波爾,朝日),晶圓厚度的直接測量.

測量步驟

1.在工作臺未放置工件時(shí)，垂直移動(dòng)對焦系統，待兩個(gè)顯示器上都顯示對焦的符號后，將Z軸計數器歸零.

2 放上工件，移動(dòng)對焦系統，對工件底部對焦。

3.移動(dòng)上對焦系統，對工件表面對焦。上對焦系統移動(dòng)的距離即為工件的厚度

測量行程XY 100*100毫米 測量誤差1微米

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